传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:
液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大
以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源
可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率