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单选题

传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:

A.

液体局部温度起伏会引起成像质量恶化

B.

为了减少液体对光线的吸收,液层厚度不能太大

C.

以纯水为介质时,可以选取任意波长紫外光为光源

D.

可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光,提高成像分辨率

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